Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 1 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Zajištění plošné homogenity při depozici složitých systémů vrstev
Žídek, Karel
V této zprávě popisujeme postup optimalizace depozice interferenčního filtru s cílem dosáhnout homogenní tloušťky vrstvy na co největším rozsahu deponované plochy. Za použití depoziční masky a rotace depoziční kaloty dosahujeme homogenity ± 0.5% pro vzorky do průměru 5 cm. Zkoumáme poté vliv naklonění substrátu a depozici na zakřivený povrch čočky na homogenitu deponované vrstvy.

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.